| Output | Range(mm) | Hysteresis（%F.S) | Linear（%F.S） |
Download |
| Output | Range(mm) | Hysteresis（%F.S) | Linear（%F.S） |
Download |
| Output | Range(mm) | Hysteresis（%F.S) | Linear（%F.S） |
Download |
| Output | Range(mm) | Hysteresis（%F.S) | Linear（%F.S） |
Download |
| Output | Range(mm) | Hysteresis（%F.S) | Linear（%F.S） |
Download |
| Analog | 50-5000 | ≤+0.002 | <±0.05 | |
| Modbus | 50-5000 | ≤+0.002 | <±0.05 | |
| SSI | 50-5000 | ≤+0.002 | <±0.05 |
